Marka: NANOVAK

Model: NVEB-600

Açıklama: Elektron demet evaporatörü, bir termal buharlaştırma işlemidir ve püskürtmeyle birlikte en yaygın iki fiziksel buhar biriktirme (PVD) türünden biridir. Elektron demeti buharlaştırma işlemi, daha büyük miktarda enerjinin kaynak malzemeye doğrudan aktarılmasını sağlayarak, sırasıyla altın ve silikon dioksit gibi çok yüksek erime sıcaklıklarına sahip metal ve dielektrik malzemelerin buharlaşmasını sağlar. Bu nedenle, standart dirençli termal buharlaştırma ile buharlaştırılamayan malzemeleri biriktirmek mümkündür. Elektron demeti evaporatörünün ek bir faydası, sıçratma veya dirençli buharlaştırma ile mümkün olandan daha yüksek biriktirme oranlarıdır. Elektron demet evaporatör cihazında, buharlaştırma malzemesi doğrudan su soğutmalı bir bakır ocağa veya bir potaya yerleştirilebilir ve odaklanmış bir elektron demeti ile ısıtılabilir. Elektron demetinden gelen ısı, malzemeyi buharlaştırır ve ardından gerekli ince filmi oluşturmak için alt tabaka üzerinde birikir. Elektron demet evaporatör cihazı, çok çeşitli malzemeleri biriktirmek için kullanılır. Lazer optiği ve güneş panellerinden gözlüklere ve mimari cama kadar bu tür optik ince film uygulamaları için yaygın olarak kullanılır ve gereken optik, elektriksel ve mekanik nitelikleri sağlayarak diğer PVD işlemlerine kıyasla yüksek malzeme kullanım verimliliği ile maliyetleri düşürür.

Sorumlu: Dr. Öğr. Üyesi Yavuz Nuri Ertaş & E-posta: yavuzertas@erciyes.edu.tr

İkinci Sorumlu: Öğr. Görevlisi İlker TÖRÜN (İletişim: 0352 207 66 66 / 13812) (e-posta: ilkertorun@erciyes.edu.tr)