Marka: Sentech

Model: SI 500

Açıklama: Plazma aşındırma sistemi, sıcaklık ayarı ile yüksek kalitede plazma aşındırma işlemleri yapar. Düşük iyon enerjisi ve dar iyon enerjisi dağılımı nedeniyle, düşük hasarlı dağlama ve nano yapılaşma gerçekleştirilebilir. Tek wafer vakumlu yük kilidi, istikrarlı işlem koşullarını garanti eder ve işlemlerin kolayca değiştirilmesini sağlar. III-V bileşik yarı iletkenler (GaAs, InP, GaN, InSb), dielektrikler, kuvars, cam, silikon, silikon bileşikleri (SiC , SiGe) ve metaller dahil çeşitli malzemelerin işlenmesi için yapılandırılabilir.

Sorumlu: Dr. Öğr. Üyesi Yavuz Nuri Ertaş & E-posta: yavuzertas@erciyes.edu.tr

İkinci Sorumlu: Öğr. Görevlisi İlker TÖRÜN (İletişim: 0352 207 66 66 / 13812) (e-posta: ilkertorun@erciyes.edu.tr)