Marka: MIDAS SYSTEM

Model: MDA-400M

Açıklama: Maske Hizalama Cihazları, yarıiletken üretim süreçlerinin temelini oluşturan UV litografinin gerçekleştirilmesinde kullanılır. Bir entegre devrenin oluşturulması, MEMS yapısının üretilmesi, LED üretilmesi, Lab-on-a-chip yapılarının oluşturulması ve benzeri temel üretim süreçlerinde oluşturulmak istenilen yapılar UV ışık kullanılarak wafer üzerine, maske hizalama cihazları kullanılarak transfer edilir. Bu yönteme UV litografi denilir. Maske hizalama cihazında üretilen ve kullanılan UV ışığın homojenitesi, süresi ve şiddeti son ürünün kalitesini ve yapılabilirliğini belirlediği için maske hizalama cihazı yarı iletken üretim ve silisyum tabanlı süreçlerin başarı ile gerçekleştirilebilmesi için temel başlangıç noktası olarak kabul edilmektedir.

Sorumlu: Öğr. Gör. İlker TÖRÜN (İletişim: 0352 207 66 66 / 13812) (e-mail: ilkertorun@erciyes.edu.tr)