Açıklama: Başta ışınlanmış fotorezistin geliştirmek olmak üzere tüm kimyasal temizlik ve aşındırma işlemleri yapılmaktadır. Temizlenen örnekler sürekli sağlanmakta olan saf su ile durulanır, azot gazı ile kurulanır. Ünitede ayrıca iki adet sıcak yüzey (hot plate) ve bir adet spinner bulunmaktadır.

Sorumlu: Öğr. Görevlisi İlker TÖRÜN (İletişim: 0352 207 66 66 / 13812) (e-mail: ilkertorun@erciyes.edu.tr)